這款新型光罩對準模塊 (LAS-RAM) 專為配合激光對準與裝配工作站 (LAS) 而設(shè)計,可在多透鏡裝配過程中快速便捷地將光罩、光圈、光纖、光源和探測器對準透鏡的光軸。
RAM 采用直接安裝在 LAS 光學模塊支架上的伸縮臂,可在數(shù)秒內(nèi)快速從靜止位置移動到測量位置。微型 x/y 軸平臺可進行準確調(diào)整,使待測特征位于相機視場 (FOV) 的中心。集成的 LED 同軸照明可實現(xiàn)正負目標的高對比度成像。通過電動 LAS 垂直軸和自動圖像對比度優(yōu)化功能,可實現(xiàn)準確對焦。RAM 軟件應用程序可快速捕獲特征并測量全內(nèi)反射 (TIR),從而更大限度地減少中心定位誤差。
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產(chǎn)地 |
美國 |
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相機圖像比例尺 |
0.25 μm/像素 |
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相機圖像視場角 |
625 μm x 500 μm |
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中心定位精度 |
0.5 μm |
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精度等級 |
亞微米級 |
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測量比 |
可伸縮 |
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軸平臺 |
x/y |
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照明 |
LED同軸照明 |
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垂直軸 |
電動 |
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顯微鏡 |
數(shù)字型,高倍率 |